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ナノテクノロジーへの道を拓く イオン工学ハンドブック : 薄膜合成・加工 他
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ナノテクノロジーへの道を拓く イオン工学ハンドブック : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等
著者 水野博之 監修
平尾孝ほか編
出版社 イオン工学研究所
刊行年 平成15年5月発行
ページ数 1126頁
サイズ B5判
冊数 1冊
ISBN 4526053805
全体的に黄ばんでいますが中身を読む上で支障はありません
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